PM216L真空等離子處理機_中型等離子處理設備_真空等離子處理設備_產(chǎn)品中心

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PM216L真空等離子處理機

PM216L

特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持。

用途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

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編號	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	機臺整機規(guī)格	1450mm(W)×1720mm(H)×1150 mm(D)
2	真空室規(guī)格	進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm
3	電極板規(guī)格	10層平板式電極板（560(W)×500(D)mm）可定制
4	控制系統(tǒng)	觸摸屏+PLC控制
5	真空測定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統(tǒng)	精確質(zhì)量流量控制計 MFC
7	氣體路數(shù)	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發(fā)生器	500W&1KW等離子體發(fā)生源，40KHz（可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持。用途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。