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真空等離子清洗機(jī)處理掩膜的主要目的是去除掩膜表面的污染物，如顆粒、油脂、有機(jī)物殘留等，以確保掩膜的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。這些污染物可能會(huì)對(duì)掩膜的性能產(chǎn)生負(fù)面影響，因此通過(guò)清洗處理可以提高掩膜的質(zhì)量和可靠性，從而保證半導(dǎo)體制造過(guò)程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品的高品質(zhì)。

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