PR60/80L真空等離子清洗機_中型等離子處理設備_真空等離子處理設備_產(chǎn)品中心

PR60/80L真空等離子清洗機

編號	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	機臺整機規(guī)格	PR60L：920mm(W)× 960mm(D)×1720mm（H） PR80L：920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
2	真空室規(guī)格	PR60L: 進口鋁 400(W)×400(H)×400(D)mm PR80L: 進口鋁 450(W)×400(H)×450(D)mm
3	電極板規(guī)格	PR60L：6層平板式電極板（380(W)×310(D)mm） PR80L：8層平板式電極板（420(W)×360(D)mm）
4	控制系統(tǒng)	觸摸屏+PLC控制
5	真空測定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統(tǒng)	精確質(zhì)量流量控制計 MFC
7	氣體路數(shù)	2路進氣，1路放空
8	等離子發(fā)生器	500W&1KW等離子體發(fā)生源，40KHz（可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持。用途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔； 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。